No |
Hizmet Adı |
Hizmet Ücreti (TL) |
Açıklama |
1 |
Termal İyon Katkılama |
20000 TL (10 dilim) |
Silikon alttaşlara P ve N bölgelerinin oluşturulması |
2 |
Maske Hizalama ve Litografi |
700 TL /Saat |
Hizalama hassasiyeti yaklaşık 1 mikrondur |
3 |
Tavlama İşlemi |
700 TL/Saat |
1000 derece ye kadar farklı ısıtma soğutma hızlarında |
4 |
Hızlı Tavlama İşlemi (RTA) |
700 TL/Adet |
900 dereceye kadar şoklama etkisiyle tavlama yüksek |
5 |
Alttaş kesim (Dicing Saw) |
1000 TL/Saat |
Silikon alttaşların kesimi için uygun, hassasiyet 15 mikrondur |
6 |
Güneş Paneli Laminasyon |
700 TL/Saat |
60 adet 15x15 cm2 alttaşın laminasyon işlemi yapılabilir |
7 |
Spektrskopik Reflektometre |
500 TL/Adet |
15 nm üzeri film kalınlık ölçümü ve optik yansıma (reflection) ölçümü yapılabilir |
8 |
Akım-Voltaj Kapasitans |
150 TL/Adet |
IV ve CV ölçümleri Keithey 4200 sistemi ile yapılmaktadır. Detaylı elektriksel ölçümler gerçekleştirilebilir |
9 |
Solar Simulator ile Işık Altından Ölçüm |
500 TL/Adet |
Güneş hücrelerinin verimlilik hesabı ve Voc, Isc vb. ölçümleri yapılmaktadır |
10 |
4-nokta yüzey direnç ölçümü |
300 TL/Adet |
Oda sıcaklılığnda yüzey-direnç haritalaması yapılmaktadır. |
11 |
DC/RF Saçtırma Yöntemi İle Kaplama |
600 TL/Saat |
bir adet DC, 2 Adet dört inç hedef malzemesi entegre edilerek 8 inç alttaş boyutuna kadar 350 Watt'a kadar güç uygulanarak kaplama işlemi yapılabilir |
12 |
Islak-Kuru Oksidasyon |
15000 TL (100 nm ve altı) 20000 TL (100 nm-750 nm kalınlık SiO2) |
1100 dereceye kadar Kuru (O2) yada Islak (H2O) oksidasyon işlemi CVD yöntemiyle gerçekleştirilebilir. Fiyat Islak oksidasyon için geçerlidir. 100 nm üzeri kaplamalarda Kuru oksidasyonda yüzde yirmi fiyat farkı uygulanır. |
13 |
Termal Metal Evaporatör |
4000 TL/adet |
Metal kaplama işlemleri termal buharlaştırma yöntemleriyle gerçekleştirilir |
14 |
PE-ALD (Atomik Düzeyde Kaplama) |
900 TL/Saat |
Plazma arttırımlı ALD sistemidir. Atomik düzeyde CVD yöntemiyle kaplama yapabilir. Öncül gazlar kullanıcı tarafından sağlanmalıdır |
15 |
Eletron Demet (E-Beam) Evaporatör |
5500 TL/Adet |
Oksit bileşiklerin elektron demeti kullanılarak buharlaştırması yapılır |
16 |
Islak Tezgahlar |
5000 TL (Tam RCA İşlemi) |
20 adet alttaşın tam bir RCA temizleme işlemi yapılabilir. 18 Mohm DI-su kullanılır. Kimyasallar kullanıcı tarafından sağlanır |
17 |
Temiz Oda Kullanımı |
500 TL/Saat |
1000 Class temiz oda ortamının kullanım ücretidir. Çalışılacak malzemeler temiz odaya zarar vermemek zorundadır |
18 |
WorkStation |
80 TL/Saat |
128 GB RAM, 4x 2.5 Ghz Xeon işlemci, Linux işletim sistemi |
19 |
Mikroskop |
150 TL/adet |
10x ile 100x arasında optik büyütme yapılabilir |
20 |
Probe Station |
500 TL/Saat |
-30 ile 150 derece arasında mikro çiplerin IV ölçümü yapılabilir. Keithley 4200 ile entegredir. En az bir saatlik hizmet ücretinden fiyatlandırılır. |
21 |
Spin Kaplama |
400 TL/Saat |
7000 rpm hızına kadar dönme işlemi yapabilir. 6 inç alttaş kapmasına uygundur. En az bir saatlik hizmet ücretinden fiyatlandırılır. |
22 |
Tel Bağlama |
300 TL/Adet |
Mikroçiplerdeki pedlerden soketler üzerine kontak alma işlemi Alüminyum Teller ile yapılmaktadır |
23 |
Dedektör Gece-Gündüz Test |
5500 TL/Adet |
|
24 |
Dedektör Algılama Mesafe Testi |
750 TL/Adet |
|
25 |
Dedektör İç-Dış Mekan Algılama Testi |
5500 TL/Adet |
|
26 |
Meteorolojik Koşullarda Bağlı Performans Test |
9000 TL/Adet |
|
27 |
Mini Güneş Paneli Üretimi |
8000 TL/Adet |
16 adet hücreye kadar oluşturulan paneller için geçerlidir. |
* Hizmet ücretlerine KDV dahil değildir.