NürFET bir çeşit Metal-Oksit-Silikon yapısında Radyasyona Duyarlı Alan Etkili Transistördür, diğer bir değişle mikro boyutlarda bir entegre radyasyon dozimetresi sensörüdür. NürFET teknolojileri temelinde sensör/dozimetre duyarlılığını artırmak, malzeme boyutlarını ve maliyetlerini azaltmak için çalışılmaktadır. Fotolitografi, ıslak ve kuru aşındırma sistemleri, plazma CVD, difüzyon fırınları, ısısal işlem cihazları gibi mikro/nano sistemlerin üretimi için gerekli bütün teçhizatı NürFET laboratuvar bünyesinde barındırmaktadır. İnce film üretim işlemi NÜRDAM bünyesinde disiplinler arası işbirliği ile yapılmaktadır. Farklı branşlardaki araştırmacı grupları yeni ince filmler üretmek için NÜRDAM bünyesinde ortak paydada iş birliği içinde çalışmaktadır.

Ayrıca, müşteri kuruluşlar ile sürekli bir işbirliği kurmayı hedefleyen kurumumuz, istenilen taleplere göre yüksek standartlara sahip mikro-nano elektronik aygıtları ve bazı ilgili cihazların üretimini yapabilecek kapasitededir.

NÜRDAM’ da NürFET gibi mikro-nano aygıt ve ince film üretim aşamalarının gerçekleştirildiği dört farklı laboratuvar bulunmaktadır, CVD ve üretimde kullanılacak bazı makineler için 74 m2’lik 100 klaslık temiz oda, PVD işlemi için 21 m2’lik 1000 klaslık temiz oda, RCA temizleme işlemi için 25 m2’lik, optik litografi işlemi için 21 m2’lik ve 10 klaslık temiz oda bulunmaktadır.

Haberler

Duyurular


Abant İzzet Baysal Üniversitesi - Nükleer Radyasyon Dedektörleri Uygulama ve Araştırma Merkezi © 2017 Sayfa Başı