NÜRDAM' da temiz oda toplamda 450 m2 yi kaplamakla birlikte 4 ana bölmeden oluşur ve bu bölümlerde mikro-nano teknolojiye dayalı radyasyon detektörlerinin/sensörlerinin üretimi için gerekli sistemleri barındırır. Islak kimyasal işleme ve optik litografi, Metalizasyon, Test ve karakterizasyon için ayrı ayrı odalar bulunmaktadır. Nano lehimleme istasyonu, LPCVD ve difüzyon fırınları mevcuttur.