NÜRDAM' da temiz oda toplamda 450 m2 yi kaplamakla birlikte 4 ana bölmeden oluşur ve bu bölümlerde mikro-nano teknolojiye dayalı radyasyon detektörlerinin/sensörlerinin üretimi için gerekli sistemleri barındırır. Islak kimyasal işleme ve optik litografi, Metalizasyon, Test ve karakterizasyon için ayrı ayrı odalar bulunmaktadır. Nano lehimleme istasyonu, LPCVD ve difüzyon fırınları mevcuttur.

Powered by Abant İzzet Baysal Üniversitesi 2016