| No | Hizmet Adı | Hizmet Ücreti (TL) | Açıklama |
| 1 |
Termal İyon Katkılama | 12.000 TL/Saat |
Silikon alttaşlara P ve N bölgelerinin oluşturulması -P bölgesi BBr3 ile termal olarak - N bölgesi POCl3 ile termal olarak |
| 2 | Maske Hizalama ve Litografi | 1.500 TL /Saat | Hizalama hassasiyeti yaklaşık 1 mikrondur. |
| 3 | Tavlama İşlemi | 2.500 TL/Saat | 1000 derece ye kadar farklı ısıtma soğutma hızlarında |
| 4 | Hızlı Tavlama İşlemi (RTA) | 1.500 TL/Saat | 900 dereceye kadar şoklama etkisiyle tavlama yüksek ısıtma ve soğutma hızlarında. (Cihaz bakımdadır !) |
| 5 | Alttaş kesim (Dicing Saw) | 1.500 TL/Saat | Silikon alttaşların kesimi için uygun, hassasiyet 15 mikrondur. |
| 6 | Spektrskopik Reflektometre | 800 TL/Adet | 15 nm üzeri film kalınlık ölçümü ve optik yansıma (reflection) ölçümü yapılabilir. |
| 7 | Akım-Voltaj Kapasitans Voltaj Karakterizasyonu | 1.000 TL/Adet | IV ve CV ölçümleri Keithey 4200 sistemi ile yapılmaktadır. Detaylı elektriksel ölçümler gerçekleştirilebilir |
| 8 | 4-nokta yüzey direnç ölçümü | 100 TL/Adet | Oda sıcaklılığnda yüzey-direnç haritalaması yapılmaktadır. Yariletken ve iletken malzemeler çalışılmaktadır. |
| 9 |
DC/RF Saçtırma Yöntemi İle Kaplama |
1000 TL/Saat |
1 adet 2 inç ve 2 adet 4 inç hedef ile 8 inç alttaşlara kadar, 350 W güce kadar kaplama yapabilmektedir. |
| 10 |
Islak-Kuru Oksidasyon |
25000 TL (100 nm ve altı) 30000 TL (100 nm-750 nm kalınlık SiO2) |
1100 dereceye kadar Kuru (O2) yada Islak (H2O) oksidasyon işlemi CVD yöntemiyle gerçekleştirilebilir. Fiyat Islak oksidasyon için geçerlidir. 100 nm üzeri kaplamalarda Kuru oksidasyonda yüzde yirmi fiyat farkı uygulanır. |
| 11 | Termal Metal Evaporatör | 1.000 TL/adet | Metal kaplama işlemleri termal buharlaştırma yöntemleriyle gerçekleştirilir. |
| 12 | PE-ALD (Atomik Düzeyde Kaplama) | 3.000 TL/Saat | Plazma arttırımlı ALD sistemidir. Atomik düzeyde CVD yöntemiyle kaplama yapabilir. Öncül gazlar kullanıcı tarafından sağlanmalıdır. (Cihaz bakımdadır !) |
| 13 | Eletron Demet (E-Beam) Evaporatör | 2.500 TL/Saat | Oksit bileşiklerin elektron demeti kullanılarak buharlaştırması yapılır. |
| 14 | Islak Tezgahlar | 1.500 TL/Saat | 20 adet alttaşın tam bir RCA temizleme işlemi yapılabilir. 18 Mohm DI- su kullanılır. Kimyasallar kullanıcı tarafından sağlanır. |
| 15 | Temiz Oda Kullanımı | 1.000 TL/Saat | 1000 Class temiz oda ortamının kullanım ücretidir. Çalışılacak malzemeler temiz odaya zarar vermemek zorundadır. |
| 16 | Mikroskop | 300 TL/Saat | 10x ile 100x arasında optik büyütme yapılabilir. |
| 17 | Probe Station | 1.200 TL/Saat | -30 ile 150 derece arasında mikro çiplerin IV ölçümü yapılabilir. Keithley 4200 ile entegredir. En az bir saatlik hizmet ücretinden fiyatlandırılır. |
| 18 | Spin Kaplama | 1.200 TL/Saat | 7000 rpm hızına kadar dönme işlemi yapabilir. 6 inç alttaş kapmasına uygundur. En az bir saatlik hizmet ücretinden fiyatlandırılır. |
| 19 | Tel Bağlama | 2.000 TL/Adet | Mikroçiplerdeki pedlerden soketler üzerine kontak alma işlemi Alüminyum Teller ile yapılmaktadır. |
| 20 | Dedektör Karakterizasyonu | 4.000 TL/Adet | CAEN VME elektronik karakterizasyon sistemleri ile 10000 V değerine kadar besleme yapılabilir. Amptek MCA ile nokta radyasyon kaynakları kullanılarak kalibrasyon ve karakterizasyon yapılabilir. Kalibrasyon ARGE amalı olup sertifikalı değildir. Sistemler, laboratuvar ve dış ortam testleri için uygundur. |
| 21 | Vakum Chamber | 5.000 TL/Saat | 10-6 milibar vakum seviyesine ulaşılabilmektedir. Maksimum 10 Bar seviyesine kadar pozitif basınca uygundur, hassas basınç ölçümü mevcuttur. Sıcaklık 0-100 C arasında 0.1 CC hassasiyetle kontrolü şekilde artırılabilir. Nem ppm mertebesinde kontrollü olarak değiştirilebilir. 3 farklı gaz MFC kontrollü olarak karıştırılabilir. Chamber içerisine kirletici solvent salan numuneler giremez. Deneysel kullanım yüzeyi 40cm x 40cm'dir. (Cihazın kurulumu devam etmektedir. Yakında hizmete girecektir.) |
| 22 | 3D Yazıcı | 1.500 TL/Saat (Flament kullanıcıdan) 2.500/Saat (Flament NÜRDAM'dan) |
Marka-Model: Bambu Lab X1E Combo Baskı Hacmi: 256mm × 256mm × 256mm (10" x 10" x 10") Flament Çapı: 1.75mm Nozzle çapı: 0.4mm Azami Hotend Isısı: 320°C Uygun Materyaller: Üst kalite materyaller: ABS, PET, PC, Nylon/PA, ASA, Glass Fiber ve Carbon Fiber Kompozit [NylonX, NylonG, vb.] İdeal materyaller: PPA, PPS, PPA-CF/GF, PPS, PPS-CF/GF Uygun materyaller: PLA, PETG, Esnek [TPU, TPE] Destek (PVA, Breakaway) |
| 23 | 3 Eksenli CNC | 5.000 TL/Saat | Marka-Model: Raptorex Pro (Opsiyonel sıvı soğutmalı) Spindle: 750W/18000 RPM Step gücü: DM556 Tabla boyutu: 340 x 360 mm Çalışma alanı: 240 x 360 x120 mm Z eksen hareketi: 225 mm Hassasiyet: 0.05 mm |
