| No | Hizmet Adı | Hizmet Ücreti (TL) | Açıklama |
| 1 |
Termal İyon Katkılama | 30000 TL (10 dilim) |
Silikon alttaşlara P ve N bölgelerinin oluşturulması - P bölgesi BBr3 ile termal olarak - N bölgesi POCl3 ile termal olarak |
| 2 | Maske Hizalama ve Litografi | 1000 TL /Saat | Hizalama hassasiyeti yaklaşık 1 mikrondur |
| 3 | Tavlama İşlemi | 1000 TL/Saat | 1000 derece ye kadar farklı ısıtma soğutma hızlarında |
| 4 | Hızlı Tavlama İşlemi (RTA) | 1000 TL/Adet | 900 dereceye kadar şoklama etkisiyle tavlama yüksek ısıtma ve soğutma hızlarında |
| 5 | Alttaş kesim (Dicing Saw) | 1500 TL/Saat | Silikon alttaşların kesimi için uygun, hassasiyet 15 mikrondur |
| 6 | Güneş Paneli Laminasyon | 1000 TL/Saat | 60 adet 15x15 cm2 alttaşın laminasyon işlemi yapılabilir |
| 7 | Spektrskopik Reflektometre | 750 TL/Adet | 15 nm üzeri film kalınlık ölçümü ve optik yansıma (reflection) ölçümü yapılabilir |
| 8 | Akım-Voltaj Kapasitans Voltaj Karakterizasyonu | 200 TL/Adet | IV ve CV ölçümleri Keithey 4200 sistemi ile yapılmaktadır. Detaylı elektriksel ölçümler gerçekleştirilebilir |
| 9 | Solar Simulator ile Işık Altından Ölçüm | 750 TL/Adet | Güneş hücrelerinin verimlilik hesabı ve Voc, Isc vb. ölçümleri yapılmaktadır |
| 10 | 4-nokta yüzey direnç ölçümü | 450 TL/Adet | Oda sıcaklılığnda yüzey-direnç haritalaması yapılmaktadır. Yariletken ve iletken malzemeler çalışılmaktadır |
| 11 |
DC/RF Saçtırma Yöntemi İle Kaplama |
1000 TL/Saat |
bir adet DC, 2 Adet dört inç hedef malzemesi entegre edilerek 8 inç alttaş boyutuna kadar 350 Watt'a kadar güç uygulanarak kaplama işlemi yapılabilir |
| 12 |
Islak-Kuru Oksidasyon |
25000 TL (100 nm ve altı) 30000 TL (100 nm-750 nm kalınlık SiO2) |
1100 dereceye kadar Kuru (O2) yada Islak (H2O) oksidasyon işlemi CVD yöntemiyle gerçekleştirilebilir. Fiyat Islak oksidasyon için geçerlidir. 100 nm üzeri kaplamalarda Kuru oksidasyonda yüzde yirmi fiyat farkı uygulanır. |
| 13 | Termal Metal Evaporatör | 5500 TL/adet | Metal kaplama işlemleri termal buharlaştırma yöntemleriyle gerçekleştirilir |
| 14 | PE-ALD (Atomik Düzeyde Kaplama) | 1200 TL/Saat | Plazma arttırımlı ALD sistemidir. Atomik düzeyde CVD yöntemiyle kaplama yapabilir. Öncül gazlar kullanıcı tarafından sağlanmalıdır |
| 15 | Eletron Demet (E-Beam) Evaporatör | 12000 TL/Adet | Oksit bileşiklerin elektron demeti kullanılarak buharlaştırması yapılır |
| 16 | Islak Tezgahlar | 12000 TL (Tam RCA İşlemi) |
20 adet alttaşın tam bir RCA temizleme işlemi yapılabilir. 18 Mohm DI- su kullanılır. Kimyasallar kullanıcı tarafından sağlanır |
| 17 | Temiz Oda Kullanımı | 750 TL/Saat | 1000 Class temiz oda ortamının kullanım ücretidir. Çalışılacak malzemeler temiz odaya zarar vermemek zorundadır |
| 18 | Mikroskop | 250 TL/adet | 10x ile 100x arasında optik büyütme yapılabilir |
| 19 | Probe Station | 1000 TL/Saat | -30 ile 150 derece arasında mikro çiplerin IV ölçümü yapılabilir. Keithley 4200 ile entegredir. En az bir saatlik hizmet ücretinden fiyatlandırılır. |
| 20 | Spin Kaplama | 1000 TL/Saat | 7000 rpm hızına kadar dönme işlemi yapabilir. 6 inç alttaş kapmasına uygundur. En az bir saatlik hizmet ücretinden fiyatlandırılır. |
| 21 | Tel Bağlama | 500 TL/Adet | Mikroçiplerdeki pedlerden soketler üzerine kontak alma işlemi Alüminyum Teller ile yapılmaktadır |
| 22 | Dedektör Gece-Gündüz Test | 7500 TL/Adet | |
| 23 | Dedektör Algılama Mesafe Testi | 2500 TL/Adet | |
| 24 | Dedektör İç-Dış Mekan Algılama Testi | 7500 TL/Adet | |
| 25 | Meteorolojik Koşullarda Bağlı Performans Test |
15000 TL/Adet | |
| 26 | Mini Güneş Paneli Üretimi | 12000 TL/Adet | 16 adet hücreye kadar oluşturulan paneller için geçerlidir. |
