Yarıiletken Sensörler Grubu
Grup Koordinatörü: Assoc. Prof. Dr. Şenol KAYA
Grup Üyeleri: Assoc. Prof. Dr. Şenol KAYA, Assoc. Prof. Dr. Rıfkı TERZİOĞLU
Entegre devreler (IC'ler) veya mikroçipler olarak da adlandırılan yarı iletkenler teknolojiler, tipik olarak silikon veya germanyum gibi saf elementlerden veya galyum arsenit gibi bileşiklerden yapılır. Doping adı verilen bir işlemde, bu saf elementlere az miktarda safsızlık eklenir ve bu da malzemenin iletkenliğinde büyük değişikliklere neden olur. Bu değişimlerden faydalanılarak uygun bir mikro/nano mimariyle yüksek katma değerli çip teknolojisine dayalı birçok sistem geliştirilebilir. Yarı iletkenler, iletişim, bilgi işlem, sağlık, askeri sistemler, ulaşım, temiz enerji ve sayısız diğer uygulamalarda ilerleme sağlayan elektronik cihazların önemli bir bileşenidir.
Endüstri 4.0 olarak adlandırılan modern sanayi uygulamaları sensör teknolojileriyle ortaya çıkmış ve günümüzde hızla gelişmeye devam etmiştir. Akıllı sistemler ve robotik uygulamalarda sensörler otomatik kontrol sistemlerinin duyu organlarıdır. Dolayısıyla, sensör teknolojileri çoğu projenin gelişimine önayak olan ve her gün daha fazla önem kazanan bir kavramdır. Günümüz modern teknolojisnde kullanılan sensör aygıtlarının neredeyse tamamına yakını yarıiletken yonga işleme proseslerinin bir ürünüdür. Mevcut gelişmeler gözetilerek NÜRDAM bünyesindeki alt yapı ile ileri teknoloji ürünlerin üretim ve Ar&Ge çalışmaları gerçekleştirilmektedir. Özellikler Silikon tabanlı yonga teknolojilerini işleyerek mikro/nano yapıların üretimi konusunda önemli gelişmeler kayıt edilmiştir. Bu kapsamda grup koordinatörümüzün de proje personelleri arasında yer aldığı çeşitli çalışmalardan NÜRDAM bünyesinde üretimi yapılan NürFET* çipleri ile Silikon PIN** fotodiyotların görselleri aşağıda yer almaktadır. Silikon tabanlı teknolojiler dışından Silikon Karbür (SiC) ve farklı tip yarıiletken heteroeklem çalışmaları da devam etmektedir.
Yariletken sensör teknolojileri araştırma grubundaki potansiyel yetkinlikleri
➢ MEMs ve NEMs teknolojilerini üretebilme
➢ Elektronik sanayinde mikro devre, entegre ve sensör üretebilme
➢ Savunma ve uzay teknolojilerine yönelik algılayıcı sistemler tasarlayabilme
➢ İlaç ve biyolojik ajanlara yönelik biyo-algılayıcı sistemlerin geliştirebilme
➢ Güneş hücre ve panel teknolojileri yetkinlikleri kazanabilme
➢ Sensörlerin kullanımıyla haberleşme/erken uyarı sistemlerini tasarlayabilme
gibi birçok faaliyet alanlarına yönelik sıralanabilir
* Senol Kaya, et.al., Radiation Physics and Chemistry, 149, 2018, 7. ** E. Dogancı, et. al., Turkish Journal of Physics, 43, 2019, 6.