NÜRDAM' da temiz oda toplamda 450 m² yi kaplamakla birlikte 4 ana bölmeden oluşur ve bu bölümlerde mikro-nano teknolojiye dayalı radyasyon detektörlerinin/sensörlerinin üretimi için gerekli sistemleri barındırır. Islak kimyasal işleme ve optik litografi, Metalizasyon, Test ve karakterizasyon için ayrı ayrı odalar bulunmaktadır. İnce Film Teknolojileri Laboratuvarında Difüzyon Fırınları (6 ayrı gözlü), Atomik Düzeyde Katman Kaplama Sistemi, Dört Nokta Metoduyla Direnç Ölçme Sistemi, Spektroskopik Reflektometre ile İnce Film Kalınlık Ölçüm Sistemi, Metalürjik Mikroskop,  Genel amaçlı Tavlama Fırını ve Azot Ortamlı Desikatör sistemi bulunmaktadır. Bu alan ISO-5 standartında temiz odadır.