No 

Hizmet Adı

Hizmet Ücreti (TL)

Açıklama

1

Termal İyon Katkılama
 

20000 TL (10 dilim)

Silikon alttaşlara P ve N bölgelerinin oluşturulması
  - P bölgesi BBr₃ ile termal olarak
   - N bölgesi POCl₃ ile termal olarak

2

Maske Hizalama ve Litografi

700 TL /Saat

Hizalama hassasiyeti yaklaşık 1 mikrondur

3

Tavlama İşlemi

700 TL/Saat

1000 derece ye kadar farklı ısıtma soğutma hızlarında

4

Hızlı Tavlama İşlemi (RTA)

700 TL/Adet

900 dereceye kadar şoklama etkisiyle tavlama yüksek
ısıtma ve soğutma hızlarında

5

Alttaş kesim (Dicing Saw)

1000 TL/Saat

Silikon alttaşların kesimi için uygun, hassasiyet 15 mikrondur

6

Güneş Paneli Laminasyon

700 TL/Saat

60 adet 15x15 cm² alttaşın laminasyon işlemi yapılabilir

7

Spektrskopik Reflektometre

500 TL/Adet

15 nm üzeri film kalınlık ölçümü ve optik yansıma (reflection) ölçümü yapılabilir

8

Akım-Voltaj Kapasitans
Voltaj Karakterizasyonu

150 TL/Adet

IV ve CV ölçümleri Keithey 4200 sistemi ile yapılmaktadır. Detaylı elektriksel ölçümler gerçekleştirilebilir

9

Solar Simulator ile Işık Altından Ölçüm

500 TL/Adet

Güneş hücrelerinin verimlilik hesabı ve Voc, Isc vb. ölçümleri yapılmaktadır

10

4-nokta yüzey direnç ölçümü

300 TL/Adet

Oda sıcaklılığnda yüzey-direnç haritalaması yapılmaktadır.
 Yariletken ve iletken malzemeler çalışılmaktadır

11

DC/RF Saçtırma Yöntemi İle Kaplama

600 TL/Saat

bir adet DC, 2 Adet dört inç hedef malzemesi entegre edilerek 8 inç alttaş boyutuna kadar 350 Watt'a kadar güç uygulanarak kaplama işlemi yapılabilir

12

Islak-Kuru Oksidasyon

15000 TL (100 nm ve altı)

 20000 TL (100 nm-750 nm kalınlık SiO2)

1100 dereceye kadar Kuru (O2) yada Islak (H2O) oksidasyon işlemi CVD yöntemiyle gerçekleştirilebilir. Fiyat Islak oksidasyon için geçerlidir. 100 nm üzeri kaplamalarda Kuru oksidasyonda yüzde yirmi fiyat farkı uygulanır.

13

Termal Metal Evaporatör

4000 TL/adet

Metal kaplama işlemleri termal buharlaştırma yöntemleriyle gerçekleştirilir

14

PE-ALD (Atomik Düzeyde Kaplama)

900 TL/Saat

Plazma arttırımlı ALD sistemidir.  Atomik düzeyde CVD yöntemiyle kaplama yapabilir. Öncül gazlar kullanıcı tarafından sağlanmalıdır

15

Eletron Demet  (E-Beam) Evaporatör

5500 TL/Adet

Oksit bileşiklerin elektron demeti kullanılarak buharlaştırması yapılır

16

Islak Tezgahlar

5000 TL (Tam RCA İşlemi)

20 adet alttaşın tam bir RCA temizleme işlemi yapılabilir. 18 Mohm DI-su kullanılır. Kimyasallar kullanıcı tarafından sağlanır

17

Temiz Oda Kullanımı

500 TL/Saat

1000 Class temiz oda ortamının kullanım ücretidir. Çalışılacak malzemeler temiz odaya zarar vermemek zorundadır

18

WorkStation

80 TL/Saat

128 GB RAM, 4x 2.5 Ghz Xeon işlemci, Linux işletim sistemi

19

Mikroskop

150 TL/adet

10x ile 100x arasında optik büyütme yapılabilir

20

Probe Station

500 TL/Saat

-30 ile 150 derece arasında mikro çiplerin IV ölçümü yapılabilir. Keithley 4200 ile entegredir. En az bir saatlik hizmet ücretinden fiyatlandırılır.

21

Spin Kaplama

400 TL/Saat

7000 rpm hızına kadar dönme işlemi yapabilir. 6 inç alttaş kapmasına uygundur. En az bir saatlik hizmet ücretinden fiyatlandırılır.

22

Tel Bağlama

300 TL/Adet

Mikroçiplerdeki pedlerden soketler üzerine kontak alma işlemi Alüminyum Teller ile yapılmaktadır

23

Dedektör Gece-Gündüz Test

5500 TL/Adet

24

Dedektör Algılama Mesafe Testi

750 TL/Adet

25

Dedektör İç-Dış Mekan Algılama Testi

5500 TL/Adet

26

Meteorolojik Koşullarda Bağlı Performans Test

9000 TL/Adet

27

Mini Güneş Paneli Üretimi

8000 TL/Adet

 16 adet hücreye kadar oluşturulan paneller için geçerlidir.